반도체 제조설비용 열전대 고정구조

Thermocouple fixing structure for semiconductor manufacturing equipment

Abstract

반도체 소자 제조설비용 열전대 고정구조를 제공한다. 상기 열전대 고정구조는 적어도 하나의 홀이 마련된 척 및 상기 홀에 일단부가 삽입되며, 상기 척의 저면을 기준으로 수직으로 고정되는 열전대를 구비한다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (2)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-100884327-B1February 18, 2009주식회사 유진테크Thermocouple device and substrate processing apparatus
    KR-101442633-B1September 22, 2014(주)티티에스기판 지지 장치