크라이오 펌프를 갖는 이온 주입 장치 및 이를 이용한크라이오 펌프 재생 방법

Ion implantation apparatus having cryo pump and cryo pump regeneration method using the same

Abstract

크라이오 펌프를 갖는 이온 주입 장치 및 이를 이용한 크라이오 펌프의 재생 방법을 제공한다. 본 발명의 빔 라인 챔버용 밸브는 빔 라인 챔버에서 진공 배관을 통하여 흐르는 유체 흐름 방향과 수직하게 이동할 수 있는 실린더를 구비하고, 상기 실린더로 상기 빔 라인 챔버를 개폐할 수 있어 상기 빔 라인 챔버의 일단에는 추가적으로 빔 라인 챔버용 크라이오 펌프가 설치되어 있다. 이에 따라, 상기 빔 라인 챔버용 크라이오 펌프, 추가적인 빔 라인 챔버용 크라이오 펌프 및 공정 챔버용 크라이오 펌프는 각각 웨이퍼 상에 이온 주입 공정을 진행하는 동안에 개별적으로 크라이오 펌프 재생 동작을 수행하여 장비 가동율을 향상시킬 수 있다.

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle