나노-스케일 제조공정을 위한 유체 배분방법과 필요에 따른액적 배분방법

Fluid dispensing and drop-on-demand dispensing for nano-scale menufacturing

Abstract

본 발명은 기판상에 유체의 전체 체적을 배분하는 방법에 관한 것이며, 상기 방법은, 그 중에서도 기판 상에 서로 이격된 복수 개의 액적을 배분하는 것을 포함하며, 상기 액적은 각각 단위 체적을 가지고 복수의 액적의 전체 체적은 그곳에서 형성되는 패턴의 체적에 대한 함수이다. 임프린트, 액적, 기판, 전사, 템플릿, 방사선원

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