Apparatus for transfer wafer

웨이퍼 이송 장치

Abstract

본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 내측에 웨이퍼를 수용하는 공간을 가지는 핸드부, 상기 핸드부를 동작하는 아암부, 상기 핸드부의 내측에 배치되어, 웨이퍼의 가장자리 일부를 지지하는 웨이퍼 가이드를 포함하되, 상기 웨이퍼 가이드는 웨이퍼 이송 장치의 핸드부에 결합 및 고정되는 브라켓, 그리고 상기 브라켓으로부터 탈착가능하도록 제작되고, 상기 브라켓에 체결되어 상부면에 웨이퍼를 안착시키는 가이드부를 포함한다. 그리하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼와 실질적으로 접촉하여 마모되는 가이드부가 웨이퍼 이송 장치로부터 용이하게 탈착이 가능하므로, 웨이퍼 가이드 교체에 따른 유지 보수 시간을 감소시키고 작업자의 유지 보수 부담을 줄여준다. 웨이퍼 이송 장치, 웨이퍼 처리 장치, 로봇암, 웨이퍼 가이드, 가이드부, 가이드부재,

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    KR-101595885-B1February 19, 2016주식회사 넥서스원웨이퍼 검사 장비의 웨이퍼 지지장치